被稱為“第三代傳感器”的薄膜壓力傳感器，是國外80年代后針對新型武器裝備的發(fā)展而開發(fā)的傳感器新品種，其優(yōu)越的耐惡劣環(huán)境性能受到世界各國的重視。

薄膜高溫壓力傳感器：在超音速飛行器中，液壓系統(tǒng)是飛機(jī)的關(guān)鍵系統(tǒng)之一，液壓系統(tǒng)采用液壓油作為工作介質(zhì)，一旦液壓油的壓力消失，飛機(jī)將無法實(shí)現(xiàn)飛機(jī)的控制和降落。該研制產(chǎn)品用于測量高達(dá)200℃的高溫流體。其主要研制難點(diǎn)是環(huán)境溫度高，壓力高，振動(dòng)強(qiáng)，電磁干擾大。研究路線是在現(xiàn)有的技術(shù)基礎(chǔ)上，研究解決敏感材料和薄膜的耐高溫問題，解決強(qiáng)電磁干擾問題。

薄膜高溫?zé)崃鱾鞲衅鳎河糜跍y量飛機(jī)殼體在高超音速飛行狀態(tài)與空氣磨擦所產(chǎn)生的熱量。機(jī)載試驗(yàn)大約需要使用300多個(gè)傳感器以測量殼體不同形狀部位的熱況，定型飛機(jī)的健康管理系統(tǒng)中仍然需要使用多個(gè)傳感器監(jiān)測關(guān)鍵部位的發(fā)熱狀況。該技術(shù)成果還可用于彈頭材料的設(shè)計(jì)試驗(yàn)。其主要研制難點(diǎn)是工作溫度高達(dá)1200℃，響應(yīng)時(shí)間小于100μs，且要求體積輕巧，便于與機(jī)殼緊固安裝。研究路線是采用離子束濺射和干法刻蝕技術(shù)在陶瓷基片上制造熱敏電阻薄膜電橋，不同橋臂上再淀積不同厚度的阻熱薄膜，以分別感測堆積熱量和瞬變熱量，通過電橋輸出一定面積內(nèi)的瞬變溫度，再通過微電路轉(zhuǎn)換成熱量信號輸出。

薄膜推力傳感器：在超音速飛行器中，有多個(gè)反作用力控制系統(tǒng)、空中變軌和姿態(tài)控制系統(tǒng)，這些系統(tǒng)都是通過噴射高壓氣體來調(diào)節(jié)、控制飛行器的姿態(tài)和運(yùn)行軌道，薄膜推力傳感器用于測量噴射氣體時(shí)產(chǎn)生的反推力。該傳感器的主要研制難點(diǎn)是響應(yīng)時(shí)間要達(dá)到2ms，并可測量高速脈動(dòng)氣體而不產(chǎn)生自振效應(yīng)。研究路線是設(shè)計(jì)一種異型結(jié)構(gòu)的圓柱形支撐應(yīng)變體，在聚酰亞胺薄膜上制作金屬電阻應(yīng)變薄膜電橋，將應(yīng)變電橋粘接到柱形應(yīng)變體上形成傳感器，避免傳統(tǒng)的懸臂梁傳感器在受到重復(fù)的脈沖力作用時(shí)發(fā)生諧振的問題，同時(shí)圓柱體中心可直接穿過氣體噴管，解決傳統(tǒng)的測量裝置需要將噴管彎曲的問題，提高測量的真實(shí)性和準(zhǔn)確度。

薄膜一體化高溫壓力溫度傳感器：用于測試飛機(jī)上RCS系統(tǒng)中儲(chǔ)氣瓶內(nèi)及輸氣管道內(nèi)的壓力和溫度。RCS系統(tǒng)用于飛機(jī)姿態(tài)的調(diào)整，高壓儲(chǔ)氣瓶內(nèi)壓力高達(dá)60MPa，輸氣管道內(nèi)的壓力為5MPa，由于在高壓儲(chǔ)氣瓶上開多個(gè)接口會(huì)影響氣瓶的強(qiáng)度，因此要在一個(gè)接口上實(shí)現(xiàn)壓力和溫度的同時(shí)測量，縮小產(chǎn)品體積、減輕整機(jī)產(chǎn)品重量。每架大約有4-8個(gè)通道需要安裝該產(chǎn)品。其主要研制難點(diǎn)是測量介質(zhì)壓力高、要求整體尺寸小，環(huán)境振動(dòng)強(qiáng)、電磁干擾強(qiáng)。研究路線是采用離子束濺射和干法刻蝕技術(shù)在不銹鋼彈性基片上同時(shí)制造壓力敏感電橋和熱敏薄膜電阻，在彈性基片上鍍制多層穩(wěn)定的薄膜組成壓力-溫度敏感元件，再通過微電路轉(zhuǎn)換成準(zhǔn)確的標(biāo)準(zhǔn)信號輸出。

薄膜快速響應(yīng)溫度傳感器：用于飛機(jī)液壓系統(tǒng)液壓油溫的測量。該傳感器的主要研制難點(diǎn)是，敏感元件要設(shè)計(jì)在可承受40MPa高壓的防護(hù)殼內(nèi)，響應(yīng)時(shí)間要小于100mS。研究路線是采用離子束濺射和干法刻蝕技術(shù)在快速傳熱的基片上制造熱敏薄膜電阻。本文源自澤天傳感，轉(zhuǎn)載請保留出處。