壓力敏感元件是壓力傳感器或者壓力變送器的關(guān)鍵功能元件，壓力傳感器按其工作原理可分為結(jié)構(gòu)型和物性型兩個(gè)基本類型。結(jié)構(gòu)型壓力傳感器包括：彈簧管式、電感式、電位器式和電容式。結(jié)構(gòu)型傳感器由于體積較大、抗振動(dòng)性能差，在現(xiàn)代工業(yè)測(cè)量中已很少采用。物性型壓力傳感器包括：壓阻式和應(yīng)變式。壓阻式傳感器的工作原理是基于壓力變化引起敏感電阻的電阻率發(fā)生改變，主要指半導(dǎo)體壓力傳感器。應(yīng)變式傳感器的工作原理是基于壓力變化引起的敏感電阻的幾何尺寸發(fā)生改變，主要包括粘貼式傳感器、厚膜和薄膜傳感器。表1為各種類型壓力傳感器的特點(diǎn)比較。

表1 各種類型壓力傳感器特性比較

薄膜壓力傳感器被稱為“第三代傳感器”，自研發(fā)成功以來，在工業(yè)測(cè)量與航天、航空、地面，海上與水下等武器裝備中，取代早期壓力傳感器，應(yīng)用日益廣泛。圖1是納米薄膜壓力傳感器的工作原理圖。

其中，采用離子束濺射與刻蝕技術(shù)在彈性膜片上制作組成惠斯登電橋的薄膜電阻，當(dāng)流體壓力P（包括P1和P2）作用在特殊材質(zhì)的不銹鋼彈性膜片上 ,使膜片產(chǎn)生變形 ,這種變形產(chǎn)生的應(yīng)變使惠斯登電橋輸出與壓力大小成比例的電信號(hào)。對(duì)此信號(hào)處理后可以獲得壓力的大小，這就是納米薄膜壓力傳感器的基本原理。另外，從物理上，壓力傳感器關(guān)鍵的基本物理原理歸結(jié)為惠斯登電橋和電容式兩類。

惠斯登電橋：配置于彈性膜片上的電橋電阻在壓力作用下發(fā)生形變，有的被拉伸，有的則被壓縮。電阻尺寸的變化引起電阻值的變化。因此電橋產(chǎn)生差動(dòng)輸出信號(hào)，其值正比于施加的壓力?；菟沟请姌蚩捎山饘匐娮杌驂鹤璨牧蠘?gòu)成，壓阻電橋由于晶格摻雜效應(yīng)以及機(jī)械變形，能提供較大輸出信號(hào)。金屬電阻可采用多種技術(shù)將電橋電阻固定于膜片之上，諸如粘接，硅/陶瓷融合，玻璃微融、直接分子鍵合等。

電容式：測(cè)量?jī)善瑢?dǎo)電板的電容值，在壓力作用下，導(dǎo)電板被迫擠合，使電容值隨壓力的變化而變化。電容式壓力傳感元件采用MEMS技術(shù)由陶瓷構(gòu)成，或?qū)⒔饘偾度氚雽?dǎo)體層中。

對(duì)于非濺射工藝的壓力傳感元件，例如固定（融合）于金屬玻璃密封體或裝入充油腔中，所有的壓阻和硅技術(shù)都存在因摻雜物質(zhì)遷移和費(fèi)米能級(jí)效應(yīng)而引起漂移問題。這些影響隨著溫度的升高而增大。密封和充油隔離腔體由于熱膨脹系數(shù)不同而引起不希望有的熱穩(wěn)定性問題。在工作溫區(qū)內(nèi)的溫度非線性是一個(gè)大問題，工作溫區(qū)的高端和低端因此受到限制。并且存在充油腔漏油的潛在可能，這也是不希望有的。金屬電阻的粘接或硅陶瓷融合。無可避免的從原理上存在不穩(wěn)定現(xiàn)象。澤天公司的壓力敏感元件采用濺射工藝，在壓力介質(zhì)直接作用的不銹鋼膜片上，以分子鍵合的方式制作出微米級(jí)的電阻膜。再經(jīng)過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和活動(dòng)件，無需密封腔和充油腔，因此具有適用惡劣環(huán)境和長(zhǎng)期穩(wěn)定性工作的特點(diǎn)。本文源自澤天傳感，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留出處。